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產品名稱：代理Osakavacuum大阪真空渦輪分子泵TG1400F
產品型號：
產品廠商：OSAKAVACUUM大阪真空
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簡單介紹：

■ 任何方向 ■ 體積小巧 ■ 節能 ■ 快速啟動 ■ 帶排氣閥快速關閉 ■ 耐用的空氣突氣結構 ■ 串口通訊 ※RS232C串口

詳情介紹：

應用

■ 半導體生產

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ 平板顯示器制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產、光學元件生產

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究與開發

*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。

規格

入口法蘭		VG200 ISO-B200 CF200
體積流量	N2（升/秒）	1400
	N2 （帶防護屏）（升/秒）	1300
	H2（升/秒）	750
*大壓縮比	N2	1×108
*大壓縮比	H2	4.3×103
基礎壓力	（帕）（托爾）	<1×10-6 <7.5×10-9
*大吞吐量※1	（SCCM）	450
啟動時間	（分鐘）	5.5-7
關機時間	（分鐘）	15-18
*大背襯壓力	（帕/托爾）	330/2.5
推薦的后級真空泵	（升/分鐘）	≧250
位置		任何方向
重量	VG?ISO-B/CF（KG）	29/30
控制器		TC1103

*1 ：使用500L/min的前級真空泵時。

[使用環境溫度]

確保達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。確保極限壓力的冷卻水的*高溫度為30°C，冷卻水的允許溫度范圍為10-35°C。

聯系人：李先生 13402684488（微信同號）
羅茨真空泵、油封旋轉真空泵、液環真空泵、油擴散泵、噴射器、干式真空泵、真空系統、真空設備

無錫代理Osakavacuum大阪真空渦輪分子泵TG1400F

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