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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S
●6英寸~120張/小時(shí)吞吐量
●采用SiC托盤的重金屬污染對(duì)策
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點(diǎn)
這是一種連續(xù)常壓
CVD設(shè)備，可滿足小直徑晶圓大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備的需求，每小時(shí)可產(chǎn)生120片吞吐量。
該設(shè)備通過(guò)非常集中的
輸送系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，同時(shí)降低成本，從而實(shí)現(xiàn)了廣泛的沉積區(qū)域。
SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發(fā)生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩(wěn)定，老化較少。
標(biāo)準(zhǔn)配備托盤自動(dòng)更換功能，可縮短操作員的**性和維護(hù)時(shí)間。
此外，通過(guò)采用自動(dòng)提升頭底座的機(jī)制，可以輕松進(jìn)行
清潔。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±4.0% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 到 6 英寸 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | 350～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | ~120張/小時(shí) | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 機(jī)器人CtoC輸送 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 頭（標(biāo)準(zhǔn) 2 頭） | |||||||||||||||||
上海代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S
北京代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S
蘇州代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S
重慶代理AMAYA天谷制作所連續(xù)常壓 CVD設(shè)備A6300S
氣相沉積設(shè)備
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